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    【设备供应】干式螺杆真空泵

    干式螺杆真空泵
    公司名称:
    上海浦宏机械科技有限公司
    类别:
    化工设备-泵阀类-真空泵
    品牌:
    汉钟
    价格:
    面议
    用途:
    我们的产品广泛运用于真空冶炼、真空热处理、真空镀膜、电气产品、化工制药、真空模拟、电光源、硅晶体培植、除水除气、塑料制品、真空浸渍、真空(冷冻)干燥、制冷装置、食品加工及包装、汽车制造等行业。
    主要特点:
    汉钟 PS系列 螺杆真空泵的特点: 排气路径短,减少反应物沉积 线形密封性佳,泵浦性能最优 结构简单,故障率低,维修容易 水冷密封马达设计,安全百分百 微电脑操作,远端临控,保护周全
    详细说明:


    汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,终极压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

    泵浦温度控制精准

    汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。

    密封马达安全性高

    PS系列真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。

    微电脑控制保护周全

    PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。

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    上海市浦东新区东方路1359号22C
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    公司名称:
    上海浦宏机械科技有限公司
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