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    【设备供应】CVD炉

    CVD炉
    公司名称:
    株洲金瑞中高频设备有限公司
    类别:
    化工设备-真空设备
    品牌:
    金瑞
    价格:
    面议
    用途:
    化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。
    详细说明:

    化学气相沉积炉应用领域

    化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。

    化学气相沉积炉产品规格

    产品型号/规格W×H×L(mm)

    600*600*1000

    800*800*1200

    1000*1000*1500

    1200*1200*2500

    1500*1500*3000

    2500*2000*3600

    装载重量(KG)

    350

    800

    1500

    2500

    5000

    10000

    最高温度(℃)

    1500

    1500

    1500

    1500

    1500

    1500

    温度均匀性(℃)

    ±7.5

    ±7.5

    ±7.5

    ±10

    ±10

    ±15

    加热功率(kw)

    250

    360

    480

    600

    900

    1200

    极限真空度(Pa)

    20

    20

    20

    20

    20

    20

    压升率(Pa/h)

    0.67

    0.67

    0.67

    0.67

    0.67

    0.67

    以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

    化学气相沉积炉主要配置

    u 炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧

    u 炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

    u 炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC

    u 加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

    u 工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产

    u 真空泵和真空计---进口/国产

    u PLC:欧姆龙/西门子

    u 控温仪表:日本岛电/英国欧陆

    u 热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号

    u 记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产

    u 人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机

    u 电器元件:正泰/施耐德/西门子

    u 料车:滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车

    化学气相沉积炉技术特征

    n 本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;

    n 本化学气相沉积炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;

    n 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

    n 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

    n 本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

    联系方式
    联系人:
    罗选民
    电 话:
    0731-22161829
    手 机:
    13973343673
    传 真:
    0731-28814563
    邮 箱:
    网 址:
    地 址:
    株洲市天元区新马金谷工业园A1-B栋
    
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