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【设备供应】Surpass大口径干法刻蚀机装备
公司名称:
类别:
化工设备-真空设备
品牌:
超迈光电
产地:
四川成都
价格:
1000000.00
详细说明:

●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。


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