主要特点：

真空腔体是保持内部为真空状态的容器,‌其制作需要考虑容积、‌材质和形状

详细说明：

不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料,‌因其具有良好的抗腐蚀性、‌低放气率、‌无磁性、‌优良的焊接性等特点,‌在高真空和超高真空系统中应用广泛。‌此外,‌为了降低成本,‌铸造铝合金也逐渐被用于制作真空腔体。‌真空腔体的内壁通常通过喷砂或电解抛光的方式获得平坦表面,‌以减小气体分子的吸附,‌从而降低对真空度的影响。‌焊接是制作真空腔体的重要环节,‌通常采用氩弧焊来避免氧气与高温金属反应,‌确保焊接质量。‌为了实现超高真空,‌需要对腔体进行高温烘烤,‌以促使材料表面和内部的气体放出,‌烘烤方法包括使用加热带或烘烤帐篷等。‌真空腔体主要由法兰、‌管件、‌密封件、‌紧固件、‌柔性真空软管、‌弹性连接件、‌玻璃视窗等部件构成,‌根据定制化的需求,‌真空腔体可分为标准腔和定制腔。