详细说明：

二氟化氙(XeF2),又称二氟代氙,分子量为169.30,是一种无色固体,在电子工业中,XeF2常被用作硅的蚀刻气体,由于XeF2和硅的化学反应是自发反应,XeF2对硅的刻蚀工艺具有非常高的选择性,在XeF2对硅进行刻蚀过程中,XeF2气体通过自由扩散到硅衬底表面,并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4,从而实现对硅的腐蚀。

产品参数：

英文名称：xenon difluoride   分子式/结构式: F2Xe   分子量(Mr): 169.29   密度(g/l)：4.32 g/mL at 25 °C (lit.)   沸点 : 114.35°C (estimate)   用途：非常有效的氟化剂。